Im Juni 1969 beschloss der Senat der Max-Planck-Gesellschaft (MPG) die Gründung eines Instituts für Festkörperforschung in Stuttgart. Michael Eckert und Maria Osietzki schildern in „Wissenschaft für Macht und Markt. Kernforschung und Mikroelektronik in der Bundesrepublik Deutschland“, wie es dazu kam. Vierzig Jahre später, im Januar 2009, meldete der Speicherchip-Hersteller Qimonda Insolvenz an, ein Unternehmen, das aus Siemens hervorgegangen war und in Dresden mit öffentlichem Geld gefördert wurde. Zwischen beiden Daten liegt die Frage, die heute offen steht: Wie konnte es trotz der Bemühungen geschehen, dass Deutschland bei Fertigung und wirtschaftlicher Verwertung von Halbleitern den Anschluss verlor?
Die These dieses Textes lautet: Die Gründungsgeschichte des Instituts enthält bereits die Muster, die sich in den folgenden Jahrzehnten wiederholten. Sie ist deshalb nicht bloß Vorgeschichte, sondern ein Schlüssel zur Gegenwart. Das bleibt eine Vermutung, die an weiteren Fällen zu prüfen wäre.
Ein Fach ohne Mitte
Die Mikroelektronik ruht auf der Festkörperphysik. Ohne deren Fortschritte wäre weder die Entwicklung vom Transistor zum Chip noch die vom Röhrencomputer zum Mikroprozessor möglich gewesen. Und doch fehlte dem Fach in der Bundesrepublik lange das Zentrum. Es hat keine Großgeräte, seine Forschung findet an kleinsten Substanzen statt, und das gab wenig Anlass zur Zentralisierung. Die Kernphysik besaß Reaktoren und Beschleuniger und bekam in den Sechzigerjahren immer mehr staatliches Geld. Die Festkörperphysiker sahen zu, wie Plasmainstitute und Reaktoren finanziert wurden, während sie auf die Hochschulen verwiesen blieben. „Großes für Kleines“ nannte einer von ihnen später sein Programm: Großgeräte-Aufwand für kleinste Strukturen, bis hin zu den Leiterbahnen auf Siliziumchips.
Eckert und Osietzki fragen, woher der Anstoß zur Gründung kam: aus der Halbleiterindustrie, vom Staat? Ihre Antwort: Die Initiative lag fast ausschließlich bei den „Zu-kurz-Gekommenen“ der Festkörperphysiker selbst.
Das Argument vom Rückstand
Den ersten Anstoß gab 1961 Heinz Pick, Professor an der Technischen Hochschule Stuttgart und Schüler des Göttinger Experimentalphysikers Robert Pohl. Er berichtete der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) von seiner Reise in die Sowjetunion: In Moskau und Leningrad arbeiteten mehrere hundert Wissenschaftler ausschließlich an Problemen der Festkörperphysik. Ein DFG-Bericht über Japan stützte den Eindruck, dort sei das Fach bereits voraus und der Abstand werde wachsen; die Universität Tokio unterhielt ein Institut mit rund 250 Beschäftigten. In den Memoranden von 1963 kehrt das Argument wieder, ebenso 1966/67 nach einer Halbleiter-Tagung in Japan, die den Teilnehmern aus der Bundesrepublik den Rückstand vor Augen führte. Eine parlamentarische Anfrage wollte wissen, ob die Bundesrepublik in der Halbleiterphysik hinter den USA, England, Japan, der Sowjetunion und Frankreich liege. Der Rückstand gegenüber dem Ausland war das Argument, das in allen Gremien verstanden wurde.
Der Einspruch und der Chor
Die Industrie stand dabei nicht auf einer Seite. Zwischen 1961 und 1963 geriet das Vorhaben ins Stocken, weil der Vorstand von Siemens, nach Eckert und Osietzki der wichtigste industrielle Interessent an der Festkörperphysik, opponierte. Die DFG zog ihre Pläne zurück, ohne Pick die Gründe mitzuteilen. Heinz Goeschel, Siemens-Vorstand und seit 1963 Senatsmitglied der MPG, nannte später zwei Sorgen: Führende Wissenschaftler des Hauses könnten abgeworben werden, und eine genau definierte Organisationsplanung mit festgelegter Besetzung habe nicht vorgelegen. Hinzu kam ein inhaltlicher Einwand: Pick stand für die Pohl-Schule, die an Modellsubstanzen forschte, während die industriell wichtigen Halbleitermaterialien Germanium und Silizium im Hintergrund standen.
Gut fünf Jahre später sah das Bild anders aus. Hans-Joachim Queisser, frisch an die Universität Frankfurt berufen, zuvor im Silicon Valley Industriephysiker und Assistent des Transistor-Miterfinders William Shockley, forderte in einem Memorandum ein zentrales Institut für Halbleiterforschung mit industrieller Relevanz, engem Kontakt zur Elektroindustrie und dem erklärten Ziel, deren Wettbewerbschancen gegenüber der staatlich geförderten Industrie des Auslands zu verbessern. Nun stimmten die Industrievertreter in den Chor ein: Im Siemens-Hauptquartier erklärte man sich „voll einverstanden“, bei der AEG hielt man die Argumente für gravierend genug, sich energisch einzusetzen.
Was sich geändert hatte, war weniger die Industrie als der Zuschnitt des Instituts. Halbleiter standen jetzt im Mittelpunkt, Gäste aus der Industrie waren vorgesehen, und der Standort Stuttgart wurde auch gewählt, weil nach dem Votum des Wissenschaftsrats die Forschungslaboratorien fast aller deutschen Großfirmen der Elektro-, Nachrichten- und Datentechnik im süddeutschen Raum verkehrsgünstig lagen. Zugleich war das Institut kleiner geworden: von mehr als 300 Beschäftigten und jährlich rund 14 Millionen DM in den frühen Planungen auf rund 100 Beschäftigte und 3 bis 4 Millionen DM. Der MPG-Senat fasste seinen Beschluss am 12. Juni 1969 unter dem Vorbehalt der finanziellen Sicherstellung.
Selbstorganisation: der Befund der Autoren
Das Fazit von Eckert und Osietzki ist nüchtern. Die Gründung war weder die Folge eines von oben vorgegebenen industriellen oder politischen Interesses noch das Ergebnis einer breiten öffentlichen Debatte. Sie war ein Lehrstück wissenschaftsorganisatorischer Selbstorganisation: Eine Disziplin passte ihre Interessen geschickt den Erwartungen von Staat und Wirtschaft an und gewann dabei eine eigenständige Identität. Ihr Erfolgsgeheimnis war, sich als Stiefkind der nationalen Wissenschaftsförderung darzustellen, im Kontrast zu den internationalen Vorbildern. Queisser, später selbst einer der Direktoren, sah darin ein Beispiel für ein flexibles, offenes und demokratisches Fördersystem. Die Autoren halten dagegen: Die Gründungsgeschichte zeige eher geschickte Taktik im Freiraum eines von der Öffentlichkeit weitgehend abgeschirmten Wissenschaftssystems.
Was aus diesen Mustern wurde
Der Rückstand als Dauerargument. Wer das Argument vom Rückstand einmal erfolgreich eingesetzt hat, bleibt dabei. 1984 trugen Bundesregierung und niederländische Regierung das „Megaprojekt“ von Siemens und Philips: Siemens sollte einen 4-Megabit-Speicher entwickeln, Philips einen 1-Megabit-Speicher. Der Aufholerfolg wird unterschiedlich beurteilt. Ingolf Ruge, ein Münchner Halbleiterfachmann, der das Feld über Jahrzehnte begleitete, berichtet, die deutsche Halbleiterindustrie sei binnen vier Jahren von Platz 17 auf Platz 5 oder 6 der Weltrangliste gestiegen. Ein niederländischer Beteiligter dagegen hält fest, beide Speicher seien zwar entwickelt worden, hätten aber bei Philips zu keinem und bei Siemens zu keinem großen Marktanteil geführt. Beides kann zugleich stimmen: Technischer Anschluss ist noch keine Marktposition. 2022 bis 2026 kehrt das Muster im EU-Chips-Act zurück, mit dem Ziel, den europäischen Anteil an der Weltproduktion auf 20 Prozent zu verdoppeln.
Die Industrie als zustimmender Nutzer. Siemens stimmte 1966/67 zu, als Zuschnitt und Finanzierung passten. Die Speicherfertigung blieb ein Verlustgeschäft: Ein Bericht der Computerpresse, der sich auf das Wall Street Journal beruft, zählt 1984 das Megaprojekt, 1986 eine zweite Partnerschaft, 1990 eine dritte und 1991 eine vierte, jeweils bei anhaltenden Verlusten. Siemens gliederte sein Halbleitergeschäft 1999 als Infineon aus, Infineon die Speichersparte 2006 als Qimonda. Im Januar 2009 folgte die Insolvenz, nach Angaben des Konzernchefs wegen des Preisverfalls bei Speicherchips und der Finanzierungslage. Betroffen waren weltweit etwa 12.200 Arbeitsplätze, 3.200 davon in Dresden, wo Bund und Land Sachsen rund 219 Millionen Euro Subventionen gezahlt hatten. Ein anderer großer Träger der Mikroelektronik im eigenen Haus, AEG-Telefunken, war bereits 1982 zusammengebrochen.
Hier lag vermutlich der entscheidende Unterschied zwischen Wissen und Verwertung: Das Institut konnte Wissen aufbauen, aber niemanden verpflichten, daraus Fertigung zu machen, die über Jahrzehnte Kapital bindet und in Preiszyklen Verluste schreibt. Wer diese Entscheidung trug, war nie eindeutig geregelt. Ruge berichtet, in den Führungsetagen von Siemens, Philips und Telefunken habe es wenig Befürworter gegeben; Peter von Siemens soll gesagt haben, man mache ja auch keine Schrauben. Das ist die Sicht eines Zeitzeugen, aber sie passt zum Einspruch von 1963.
Die kleine Lösung und das Kapital. Das Stuttgarter Institut wurde unter Haushaltsdruck auf ein Drittel der Größe zusammengestrichen. Der Europäische Rechnungshof stellt für den Chips Act ein ähnliches Verhältnis fest: Die EU-Kommission trägt rund 4,5 Milliarden Euro zu den vorgesehenen rund 86 Milliarden bei, während die führenden Hersteller allein von 2020 bis 2023 rund 405 Milliarden Euro investierten. Nach der Kommissionsprognose steigt der EU-Anteil an der Weltproduktion von 9,8 Prozent (2022) nur auf 11,7 Prozent (2030). Ein Strukturwandel kam hinzu: 1987 gründete Morris Chang in Taiwan mit staatlichem Geld und mit Unterstützung von Philips, dem Partner des Megaprojekts, die erste reine Auftragsfertigung, TSMC. Fertigung und Entwurf wurden zu getrennten Geschäften. Wer nicht für viele Kunden produziert, kann die Fixkosten schwer tragen.
Die Nähe zur Anwenderindustrie. Die Stuttgarter Standortwahl rechnete mit der Nähe zu den Laboratorien der Großfirmen. Die Stärken Deutschlands liegen heute dort, wo Halbleiter und Anwenderindustrie zusammenkommen: Infineon führt nach TechInsights den weltweiten Markt für Automobil-Halbleiter an, mit 12,8 Prozent von 74,4 Milliarden US-Dollar (2025) und 36 Prozent bei Automobil-Mikrocontrollern; bei Leistungshalbleitern liegt der Anteil nach Unternehmensangaben bei rund 17 Prozent. Der Anschluss ging also nicht überall verloren, sondern dort, wo Skalierung und fortgeschrittene Fertigung im Mittelpunkt stehen.
Selbstorganisation ohne Verwertungsverantwortung. Auch die aktuelle Lage zeigt das Muster. Intel sagte sein Werk in Magdeburg (rund 30 Milliarden Euro Investition, rund 10 Milliarden Subvention zugesagt) im Juli 2025 ab. Das ESMC-Werk in Dresden, an dem TSMC 70 Prozent hält und Bosch, Infineon und NXP je 10 Prozent, baut weiter: Investition über zehn Milliarden Euro, etwa die Hälfte öffentliche Förderung, Produktionsstart Ende 2027, Strukturen von 28/22 und 16/12 Nanometer vor allem für Autos und Industrie. Es versorgt die Anwenderindustrie, betrieben vom führenden ausländischen Auftragsfertiger.
Ralf Keuper
Quellen
- Michael Eckert / Maria Osietzki: Wissenschaft für Macht und Markt. Kernforschung und Mikroelektronik in der Bundesrepublik Deutschland, Kapitel 9, S. 181–199 (eigene Seitenfotos).
- Ingolf Ruge (TU München), Vortragszusammenfassung zur Geschichte der deutschen Mikroelektronik, 2013: https://www.emeriti-of-excellence.tum.de/fileadmin/w00bpl/www/Veranstaltungsarchiv/Vortraege_Highlights-der-Forschung/2013-07-09_Ruge_Zusammenfassung_Vortrag.pdf
- Philips-Rückblick zum Megaprojekt, „Mega-chipping Eindhoven“ (Inventing Europe): https://www.inventingeurope.eu/story/mega-chipping-eindhoven
- Erfahrungsbericht eines Beteiligten am Megaprojekt (Philips NatLab, niederländisch): https://hagenbeuk.nl/wp-content/uploads/2021/08/DigICOntwerp-NatLab.pdf
- Siemens-Halbleiter und Computergeschäft, Computer Business Review (Techmonitor): https://www.techmonitor.ai/?p=257290
- Computerwoche zu Siemens‘ Speicherplänen 1985: https://www.computerwoche.de/article/2826809/siemens-wili-1-mbit-chip-fertigen.html
- Qimonda-Insolvenz: Tagesspiegel, https://www.tagesspiegel.de/wirtschaft/qimonda-ist-k-o-7094323.html; Subventionen: Rheinische Post (Presseportal), https://www.presseportal.de/pm/30621/1346647; Beschäftigte: WSWS, https://wsws.org/en/articles/2009/01/qimo-j28.html
- Einschätzung zur Größe von Qimonda: Channelpartner, https://www.channelpartner.de/article/3891298/chiphersteller-qimonda-ist-pleite.html
- AEG-Telefunken-Zusammenbruch: Time, https://content.time.com/time/magazine/article/0,9171,925705,00.html
- TSMC-Gründung 1987: Encyclopedia.com, https://www.encyclopedia.com/economics/news-wires-white-papers-and-books/chang-morris-1931
- Infineon-Marktanteile: Infineon-Unternehmenspräsentation, https://www.infineon.com/assets/row/public/documents/corporate/company/fy2026-q3-web-de.pdf; TechInsights-Angaben über Börse Express, https://www.boerse-express.com/news/articles/infineon-aktie-milliarden-offensive-893615
- Europäischer Rechnungshof, Sonderbericht zum Chips Act: https://www.eca.europa.eu/ECAHTMLNews/NEWS-SR-2025-12/de/body.html
- Chips Act 2.0 (Juni 2026): https://www.fonds-super-markt.de/neuigkeiten/artikel/chips-act-2-0-europas-zweiter-versuch-die-chip-luecke-zu-schliessen/
- ESMC Dresden: dpa/Der Aktionär, https://www.deraktionaer.de/nachricht/roundup-chip-riese-tsmc-beginnt-grossprojekt-in-dresden-391390.html; Focus Taiwan (15.09.2026), https://focustaiwan.tw/business/202609150007
- Intel Magdeburg, ESMC-Eckdaten: https://mybusinessfuture.com/europas-chip-offensive-nach-intel-aus-halbleiter-traum/
